1、以栴檀、自檀、紫檀陈沉木，熏陆郁金香，龙脑香，零陵沉香等，放于干净的石上磨成泥状制作香水，放于干净的容器中。 
　　
　　2、以好的土做檀，可以方可以圆，大小皆可随之变化上置浴床中间安置佛像。
　　
　　3、浴佛以其香汤沐浴，再以清水重沐，所用之水必须干净。
　　
　　4、两指取香水自顶上灌，此水又称吉祥水。
　　
　　5、手要轻，不要让净水溅出脚踩。
　　
　　6、用软毛巾将佛像拭净，并烧好香，遍熏四方。